🗊Презентация Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов

Категория: Физика
Нажмите для полного просмотра!
Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №1Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №2Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №3Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №4Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №5Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №6Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №7Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №8Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №9Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №10Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №11Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №12Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №13Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №14Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №15Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №16Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №17Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №18Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №19Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №20Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №21Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №22Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №23Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №24Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №25Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №26Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №27Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №28Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №29Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №30Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №31Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №32Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №33
Скачать

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов. Доклад-сообщение содержит 33 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1


Моделирование технологических процессов Лекция 2
Описание слайда:
Моделирование технологических процессов Лекция 2

Слайд 2


Вопросы к экзамену Принцип суперпозиции при расчете функций распределения примеси. Аналитические аппроксимации распределения ионов. Функции Гаусса. Аналитические аппроксимации распределения ионов. Распределение Пирсона-IV. Аналитические аппроксимации распределения ионов, учитывающие эффект каналирования. Особенности моделирования ионной имплантации в многослойных мишенях.
Описание слайда:
Вопросы к экзамену Принцип суперпозиции при расчете функций распределения примеси. Аналитические аппроксимации распределения ионов. Функции Гаусса. Аналитические аппроксимации распределения ионов. Распределение Пирсона-IV. Аналитические аппроксимации распределения ионов, учитывающие эффект каналирования. Особенности моделирования ионной имплантации в многослойных мишенях.

Слайд 3


Принцип суперпозиции при расчете функций распределения примеси
Описание слайда:
Принцип суперпозиции при расчете функций распределения примеси

Слайд 4


Распределение примеси вблизи краев маски
Описание слайда:
Распределение примеси вблизи краев маски

Слайд 5


Моделирование имплантации методом Монте –Карло
Описание слайда:
Моделирование имплантации методом Монте –Карло

Слайд 6


Кристаллографическая ориентация координатных осей подложки
Описание слайда:
Кристаллографическая ориентация координатных осей подложки

Слайд 7


Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №7
Описание слайда:

Слайд 8


Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №8
Описание слайда:

Слайд 9


Для наноразмерных структур необходимо учитывать дискретный характер легирования. Результаты получают методом Монте-Карло
Описание слайда:
Для наноразмерных структур необходимо учитывать дискретный характер легирования. Результаты получают методом Монте-Карло

Слайд 10


Аналитические аппроксимации распределения ионов. Функция Гаусса
Описание слайда:
Аналитические аппроксимации распределения ионов. Функция Гаусса

Слайд 11


Распределения, описываемые симметричной функцией Гаусса с различным среднеквадратичным отклонением
Описание слайда:
Распределения, описываемые симметричной функцией Гаусса с различным среднеквадратичным отклонением

Слайд 12


Параметры функции распределения Гаусса для основных типов примеси, нм
Описание слайда:
Параметры функции распределения Гаусса для основных типов примеси, нм

Слайд 13


Двойное сопряженное распределение Гаусса (асимметричное)
Описание слайда:
Двойное сопряженное распределение Гаусса (асимметричное)

Слайд 14


Функция распределения Пирсона-IV
Описание слайда:
Функция распределения Пирсона-IV

Слайд 15


Лекция 2. Моделирование технологических процессов. Аналитические аппроксимации распределения ионов, слайд №15
Описание слайда:

Слайд 16


Параметры функции распределения Пирсона-IV
Описание слайда:
Параметры функции распределения Пирсона-IV

Слайд 17


Асимметрия γ функции распределения Пирсона-IV
Описание слайда:
Асимметрия γ функции распределения Пирсона-IV

Слайд 18


Аналитические аппроксимации распределения ионов, учитывающие сильную асимметрию и эффект каналирования
Описание слайда:
Аналитические аппроксимации распределения ионов, учитывающие сильную асимметрию и эффект каналирования

Слайд 19


Распределение Гаусса с обобщенным экспоненциальным «хвостом»
Описание слайда:
Распределение Гаусса с обобщенным экспоненциальным «хвостом»

Слайд 20


Распределение Пирсона -IV с линейно- экспоненциальным хвостом
Описание слайда:
Распределение Пирсона -IV с линейно- экспоненциальным хвостом

Слайд 21


Распределение Пирсона -IV с линейно- экспоненциальным хвостом в переходной области
Описание слайда:
Распределение Пирсона -IV с линейно- экспоненциальным хвостом в переходной области

Слайд 22


Объединенное распределение Гаусса –Пирсона –IV G(z)=(1-Rg)Nf(z)+RgH(z); Rg= Dp/(Dp+Dg)
Описание слайда:
Объединенное распределение Гаусса –Пирсона –IV G(z)=(1-Rg)Nf(z)+RgH(z); Rg= Dp/(Dp+Dg)

Слайд 23


Латеральное распределение примеси
Описание слайда:
Латеральное распределение примеси

Слайд 24


Распределение постимплантационных дефектов
Описание слайда:
Распределение постимплантационных дефектов

Слайд 25


Функции распределения постимплантационных дефектов
Описание слайда:
Функции распределения постимплантационных дефектов

Слайд 26


Распределение примеси в многослойных мишенях
Описание слайда:
Распределение примеси в многослойных мишенях

Слайд 27


Коррекция параметров функции распределения
Описание слайда:
Коррекция параметров функции распределения

Слайд 28


Коррекция параметров распределения в двуслойной мишени
Описание слайда:
Коррекция параметров распределения в двуслойной мишени

Слайд 29


Коррекция дозы
Описание слайда:
Коррекция дозы

Слайд 30


Сдвиг профиля при имплантации в двухслойную мишень
Описание слайда:
Сдвиг профиля при имплантации в двухслойную мишень

Слайд 31


Моделирование распыления мишени
Описание слайда:
Моделирование распыления мишени

Слайд 32


Зависимость коэффициентов распыления кремния ионами мышьяка, сурьмы, бора и фосфора от энергии
Описание слайда:
Зависимость коэффициентов распыления кремния ионами мышьяка, сурьмы, бора и фосфора от энергии

Слайд 33


Калибровка моделей ионной имплантации по ВИМС профилям
Описание слайда:
Калибровка моделей ионной имплантации по ВИМС профилям

Скачать

Похожие презентации
Mypresentation.ru
Загрузить презентацию