Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия

Нажмите для полного просмотра!

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №2

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №3

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №4

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №5

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №6

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №7

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №8

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №9

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №10

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №11

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №12

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №13

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №14

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №15

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №16

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №17

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №18

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №19

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №20

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №21

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №22

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №23

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №24

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №25

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №26

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №27

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №28

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №29

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №30

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №31

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №32

Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия, слайд №33

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Лекция 3. Моделирование технологических процессов. Диффузия. Доклад-сообщение содержит 33 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1

Описание слайда:

Моделирование технологических процессов Лекция 3

Слайд 2

Описание слайда:

Вопросы к экзамену Механизмы диффузии. Уравнения диффузии примесей, макроскопическое и микроскопическое определения коэффициента диффузии. Расчет коэффициента диффузии для моновакансионного механизма. Коэффициент диффузии с учетом различных зарядовых состояний. Модель связанной диффузии, основные уравнения. Модель связанной диффузии, учет протекающих реакций. Модель связанной диффузии, уравнения непрерывности.

Слайд 3

Описание слайда:

Теоретические основы процесса диффузии примесей Диффузия – физический процесс, обуславливающий миграцию атомов легирующих примесей в кристаллической решетке кремния Диффузия приобретает направленное движение под влиянием либо градиента концентрации, либо градиента температуры (в микроэлектронном производстве градиенты температуры в подложке в качестве управляющего фактора не используются). Если диффундируют заряженные частицы, то на процесс диффузии влияет электрическое поле.

Слайд 4

Описание слайда:

Твердые растворы на основе кремния В кристаллической решетке кремния в растворенном состоянии могут находиться многие химические элементы. Растворенный элемент называется замещающим, если его атомы занимают регулярные положения в узлах решетки растворителя, замещая его атомы. В случае, когда растворенные атомы занимают любые свободные межузельные положения в кристаллической решетке растворителя, о растворе говорят как о растворе внедрения.

Слайд 5

Описание слайда:

Многие химические элементы растворяются в кремнии как в междоузельном, так и в замещающем виде. Однако отношение растворимостей в этих состояниях может изменяться на несколько порядков. Многие химические элементы растворяются в кремнии как в междоузельном, так и в замещающем виде. Однако отношение растворимостей в этих состояниях может изменяться на несколько порядков. Элементы III и V группы образуют прочные ковалентные связи с собственными атомами кристаллической решетки кремния и, соответственно, растворы замещения. В этом состоянии энергия их ионизация очень невелика, что делает их идеальными легирующими примесями в кремнии.

Слайд 6

Описание слайда:

Механизмы диффузии Диффузия примесей нарушает упорядоченность решетки и представляет собой процесс, скоординированный с движением дефектов кристаллической решетки и с движением ее собственных атомов. Упрощенно выделяется несколько основных механизмов диффузии: диффузия по междоузлиям; диффузия посредством вакансий; диффузия по междоузлиям с замещением (эстафетный механизм); миграция по протяженным дефектам (границам зерен, дислокациям и др.)

Слайд 7

Описание слайда:

Механизмы диффузии В настоящее время считается, что точные представления о диффузии примеси в кристаллической решетке полупроводника могут быть получены только на основе описания взаимосвязанного процесса диффузии атомов примеси и дефектов решетки, с учетом образования комплексов дефект - атом примеси, а также с учетом возможных зарядовых состояний атомов, дефектов и комплексов.