Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда

Нажмите для полного просмотра!

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №2

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №3

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №4

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №5

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №6

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №7

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №8

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №9

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №10

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №11

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №12

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №13

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №14

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №15

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №16

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №17

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №18

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №19

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №20

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №21

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №22

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №23

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №24

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №25

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №26

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №27

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №28

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №29

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №30

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №31

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №32

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №33

Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №34

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда. Доклад-сообщение содержит 34 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1

Описание слайда:

Моделирование технологических процессов Лекция 5

Слайд 2

Описание слайда:

Вопросы к экзамену Особенности процесса постимплантационной диффузии. TED-эффект. Термическое окисление кремния. Модель Дила-Гроува. Допущения при выводе модели Дила-Гроува. Константы линейного и параболического роста. Основные этапы численного моделирования процесса окисления. Модель Массуда для начального этапа процесса окисления.

Слайд 3

Описание слайда:

Слайд 4

Описание слайда:

Слайд 5

Описание слайда:

Слайд 6

Описание слайда:

Слайд 7

Описание слайда:

Слайд 8

Описание слайда:

Слайд 9

Описание слайда:

Слайд 10

Описание слайда:

Слайд 11

Описание слайда:

Слайд 12

Описание слайда:

Слайд 13

Описание слайда:

Слайд 14

Описание слайда:

Слайд 15

Описание слайда:

Слайд 16

Описание слайда:

Теоретические основы процесса окисления кремния Модель Дила-Гроува рассматривает процесс термического окисления кремния, как состоящий из двух этапов массопереноса окислителя в растущем окисле протекания химической реакции кремния с окислителем.

Слайд 17

Описание слайда:

Зависимость толщины окисла кремния от времени при термическом окислении

Слайд 18

Описание слайда:

Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува Для первого этапа – адсорбции окислителя на внешней поверхности слоя SiO2 предполагается, что молекулы O2 не диссоциируют. В этом случае справедлив закон Генри С*~ P. В случае полной диссоциации С*~ P0.5 для реакции O2 ↔ 2O. В настоящее время состояние молекул кислорода в момент адсорбции и заряд частиц окислителя окончательно не выявлены

Слайд 19

Описание слайда:

Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) На этапе диффузии окислителя к поверхности кремния теоретически возможен и обратный процесс. Эксперименты показывают, что вероятность обратного процесса – диффузии кремния через пленку окисла навстречу кислороду ничтожно мала. Неясно, в каком точно виде диффундирует окислитель. Наиболее вероятное предположение – диффузия O2- по междоузлиям оксида без взаимодействия с кислородом решетки Уравнение для потока F2, описывающее процесс диффузии, является упрощенным представлением диффузионного уравнения

Слайд 20

Описание слайда:

Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) Относительно химической реакции на границе Si - SiO2: считается, что ее порядок равен единице. Изменение внутренней структуры образующегося окисла не учитывается. Экспериментальные данные говорят о том, что в приграничной области имеются механические напряжения и идет генерация дефектов, что обязательно влияет на скорость протекающей химической реакции

Слайд 21

Описание слайда:

Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) Неявно присутствуют следующие допущения: - процессы переноса и протекание химической реакции рассматриваются отдельно и независимо друг от друга; - наличие растворенного в кремнии кислорода считается не существенным; - все процессы считаются квазистационарными, т.е.

Слайд 22

Описание слайда:

Константы линейного и параболического роста

Слайд 23

Описание слайда:

Факторы, влияющие на значение констант линейного и параболического роста

Слайд 24

Описание слайда:

Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления Точное моделирование окисления и других термических операций, которые изменяют состав и структуру слоев должно включать моделирование следующих процессов: химические реакции на границах раздела слоев, состоящие из растворения частиц, реакции частиц с материалом слоя, образование нового слоя;

Слайд 25

Описание слайда:

Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления сегрегация примеси на границах раздела слоев; диффузия примеси;

Слайд 26

Описание слайда:

Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления экранирование потоков частиц слоями и границами раздела; механическая деформация слоевой структуры как результат протекания химических реакций.

Слайд 27

Описание слайда:

Расчет окислительного процесса - решение уравнения растворения – диффузии – химической реакции для частиц окислителя, т.е. расчет процесса диффузии частиц окислителя с граничными условиями на границах раздела в виде уравнений химических реакций/растворения;

Слайд 28

Описание слайда:

Расчет окислительного процесса - оценка скоростей образования и поглощения на границе раздела и определение граничных условий для расчета механических напряжений; - расчет механических напряжений;

Слайд 29

Описание слайда:

Расчет окислительного процесса - вычисление граничных условий и решение уравнения диффузии примеси; - расчет изменения толщин слоев; локальное обновление сетки в окрестности движущихся границ раздела, интерполяция концентраций, если необходимо, полное обновление сетки.

Слайд 30

Описание слайда:

Модель Массуда Позволяет с более высокой точностью моделировать ускоренный начальный этап окисления за счет введения дополнительных параметров С и L, определяющих начальный этап роста окисла

Слайд 31

Описание слайда:

Моделирование окисления в программе Sprocess. Используются три реагента – кислород, пары воды и N2O. Основной моделью, устанавливаемой по умолчанию при расчете скорости роста окисла в одномерном случае, является модель Массуда Константы А, В, С, L определяются в зависимости от парциального давления окислительных реагентов, в общем случае для смешанной окислительной атмосферы произвольного состава