🗊Презентация Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда

Категория: Физика
Нажмите для полного просмотра!
Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №1Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №2Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №3Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №4Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №5Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №6Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №7Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №8Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №9Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №10Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №11Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №12Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №13Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №14Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №15Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №16Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №17Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №18Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №19Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №20Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №21Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №22Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №23Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №24Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №25Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №26Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №27Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №28Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №29Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №30Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №31Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №32Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №33Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №34
Скачать

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда. Доклад-сообщение содержит 34 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1


Моделирование технологических процессов Лекция 5
Описание слайда:
Моделирование технологических процессов Лекция 5

Слайд 2


Вопросы к экзамену Особенности процесса постимплантационной диффузии. TED-эффект. Термическое окисление кремния. Модель Дила-Гроува. Допущения при выводе модели Дила-Гроува. Константы линейного и параболического роста. Основные этапы численного моделирования процесса окисления. Модель Массуда для начального этапа процесса окисления.
Описание слайда:
Вопросы к экзамену Особенности процесса постимплантационной диффузии. TED-эффект. Термическое окисление кремния. Модель Дила-Гроува. Допущения при выводе модели Дила-Гроува. Константы линейного и параболического роста. Основные этапы численного моделирования процесса окисления. Модель Массуда для начального этапа процесса окисления.

Слайд 3


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №3
Описание слайда:

Слайд 4


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №4
Описание слайда:

Слайд 5


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №5
Описание слайда:

Слайд 6


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №6
Описание слайда:

Слайд 7


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №7
Описание слайда:

Слайд 8


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №8
Описание слайда:

Слайд 9


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №9
Описание слайда:

Слайд 10


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №10
Описание слайда:

Слайд 11


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №11
Описание слайда:

Слайд 12


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №12
Описание слайда:

Слайд 13


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №13
Описание слайда:

Слайд 14


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №14
Описание слайда:

Слайд 15


Лекция 5. Моделирование технологических процессов. Модель Дила-Гроува. Модель Массуда, слайд №15
Описание слайда:

Слайд 16


Теоретические основы процесса окисления кремния Модель Дила-Гроува рассматривает процесс термического окисления кремния, как состоящий из двух этапов массопереноса окислителя в растущем окисле протекания химической реакции кремния с окислителем.
Описание слайда:
Теоретические основы процесса окисления кремния Модель Дила-Гроува рассматривает процесс термического окисления кремния, как состоящий из двух этапов массопереноса окислителя в растущем окисле протекания химической реакции кремния с окислителем.

Слайд 17


Зависимость толщины окисла кремния от времени при термическом окислении
Описание слайда:
Зависимость толщины окисла кремния от времени при термическом окислении

Слайд 18


Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува Для первого этапа – адсорбции окислителя на внешней поверхности слоя SiO2 предполагается, что молекулы O2 не диссоциируют. В этом случае справедлив закон Генри С*~ P. В случае полной диссоциации С*~ P0.5 для реакции O2 ↔ 2O. В настоящее время состояние молекул кислорода в момент адсорбции и заряд частиц окислителя окончательно не выявлены
Описание слайда:
Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува Для первого этапа – адсорбции окислителя на внешней поверхности слоя SiO2 предполагается, что молекулы O2 не диссоциируют. В этом случае справедлив закон Генри С*~ P. В случае полной диссоциации С*~ P0.5 для реакции O2 ↔ 2O. В настоящее время состояние молекул кислорода в момент адсорбции и заряд частиц окислителя окончательно не выявлены

Слайд 19


Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) На этапе диффузии окислителя к поверхности кремния теоретически возможен и обратный процесс. Эксперименты показывают, что вероятность обратного процесса – диффузии кремния через пленку окисла навстречу кислороду ничтожно мала. Неясно, в каком точно виде диффундирует окислитель. Наиболее вероятное предположение – диффузия O2- по междоузлиям оксида без взаимодействия с кислородом решетки Уравнение для потока F2, описывающее процесс диффузии, является упрощенным представлением диффузионного уравнения
Описание слайда:
Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) На этапе диффузии окислителя к поверхности кремния теоретически возможен и обратный процесс. Эксперименты показывают, что вероятность обратного процесса – диффузии кремния через пленку окисла навстречу кислороду ничтожно мала. Неясно, в каком точно виде диффундирует окислитель. Наиболее вероятное предположение – диффузия O2- по междоузлиям оксида без взаимодействия с кислородом решетки Уравнение для потока F2, описывающее процесс диффузии, является упрощенным представлением диффузионного уравнения

Слайд 20


Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) Относительно химической реакции на границе Si - SiO2: считается, что ее порядок равен единице. Изменение внутренней структуры образующегося окисла не учитывается. Экспериментальные данные говорят о том, что в приграничной области имеются механические напряжения и идет генерация дефектов, что обязательно влияет на скорость протекающей химической реакции
Описание слайда:
Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) Относительно химической реакции на границе Si - SiO2: считается, что ее порядок равен единице. Изменение внутренней структуры образующегося окисла не учитывается. Экспериментальные данные говорят о том, что в приграничной области имеются механические напряжения и идет генерация дефектов, что обязательно влияет на скорость протекающей химической реакции

Слайд 21


Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) Неявно присутствуют следующие допущения: - процессы переноса и протекание химической реакции рассматриваются отдельно и независимо друг от друга; -  наличие растворенного в кремнии кислорода считается не существенным; - все процессы считаются квазистационарными, т.е.
Описание слайда:
Допущения, лежащие в основе модели Дила – Гроува (продолжение) Неявно присутствуют следующие допущения: - процессы переноса и протекание химической реакции рассматриваются отдельно и независимо друг от друга; -  наличие растворенного в кремнии кислорода считается не существенным; - все процессы считаются квазистационарными, т.е.

Слайд 22


Константы линейного и параболического роста
Описание слайда:
Константы линейного и параболического роста

Слайд 23


Факторы, влияющие на значение констант линейного и параболического роста
Описание слайда:
Факторы, влияющие на значение констант линейного и параболического роста

Слайд 24


Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления Точное моделирование окисления и других термических операций, которые изменяют состав и структуру слоев должно включать моделирование следующих процессов: химические реакции на границах раздела слоев, состоящие из растворения частиц, реакции частиц с материалом слоя, образование нового слоя;
Описание слайда:
Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления Точное моделирование окисления и других термических операций, которые изменяют состав и структуру слоев должно включать моделирование следующих процессов: химические реакции на границах раздела слоев, состоящие из растворения частиц, реакции частиц с материалом слоя, образование нового слоя;

Слайд 25


Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления сегрегация примеси на границах раздела слоев; диффузия примеси;
Описание слайда:
Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления сегрегация примеси на границах раздела слоев; диффузия примеси;

Слайд 26


Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления экранирование потоков частиц слоями и границами раздела; механическая деформация слоевой структуры как результат протекания химических реакций.
Описание слайда:
Основные процессы, учитываемые при численном моделировании окисления экранирование потоков частиц слоями и границами раздела; механическая деформация слоевой структуры как результат протекания химических реакций.

Слайд 27


Расчет окислительного процесса - решение уравнения растворения – диффузии – химической реакции для частиц окислителя, т.е. расчет процесса диффузии частиц окислителя с граничными условиями на границах раздела в виде уравнений химических реакций/растворения;
Описание слайда:
Расчет окислительного процесса - решение уравнения растворения – диффузии – химической реакции для частиц окислителя, т.е. расчет процесса диффузии частиц окислителя с граничными условиями на границах раздела в виде уравнений химических реакций/растворения;

Слайд 28


Расчет окислительного процесса - оценка скоростей образования и поглощения на границе раздела и определение граничных условий для расчета механических напряжений; - расчет механических напряжений;
Описание слайда:
Расчет окислительного процесса - оценка скоростей образования и поглощения на границе раздела и определение граничных условий для расчета механических напряжений; - расчет механических напряжений;

Слайд 29


Расчет окислительного процесса - вычисление граничных условий и решение уравнения диффузии примеси; - расчет изменения толщин слоев; локальное обновление сетки в окрестности движущихся границ раздела, интерполяция концентраций, если необходимо, полное обновление сетки.
Описание слайда:
Расчет окислительного процесса - вычисление граничных условий и решение уравнения диффузии примеси; - расчет изменения толщин слоев; локальное обновление сетки в окрестности движущихся границ раздела, интерполяция концентраций, если необходимо, полное обновление сетки.

Слайд 30


Модель Массуда Позволяет с более высокой точностью моделировать ускоренный начальный этап окисления за счет введения дополнительных параметров С и L, определяющих начальный этап роста окисла
Описание слайда:
Модель Массуда Позволяет с более высокой точностью моделировать ускоренный начальный этап окисления за счет введения дополнительных параметров С и L, определяющих начальный этап роста окисла

Слайд 31


Моделирование окисления в программе Sprocess. Используются три реагента – кислород, пары воды и N2O. Основной моделью, устанавливаемой по умолчанию при расчете скорости роста окисла в одномерном случае, является модель Массуда Константы А, В, С, L определяются в зависимости от парциального давления окислительных реагентов, в общем случае для смешанной окислительной атмосферы произвольного состава
Описание слайда:
Моделирование окисления в программе Sprocess. Используются три реагента – кислород, пары воды и N2O. Основной моделью, устанавливаемой по умолчанию при расчете скорости роста окисла в одномерном случае, является модель Массуда Константы А, В, С, L определяются в зависимости от парциального давления окислительных реагентов, в общем случае для смешанной окислительной атмосферы произвольного состава

Слайд 32


Константа параболического роста
Описание слайда:
Константа параболического роста

Слайд 33


Константа линейного роста
Описание слайда:
Константа линейного роста

Слайд 34


Параметры модели Массуда
Описание слайда:
Параметры модели Массуда

Скачать

Похожие презентации
Mypresentation.ru
Загрузить презентацию