Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление

Нажмите для полного просмотра!

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №2

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №3

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №4

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №5

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №6

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №7

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №8

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №9

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №10

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №11

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №12

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №13

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №14

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №15

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №16

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №17

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №18

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №19

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №20

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №21

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №22

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №23

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №24

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №25

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №26

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №27

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №28

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №29

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №30

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №31

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №32

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №33

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №34

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №35

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №36

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №37

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №38

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №39

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №40

Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление, слайд №41

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Лекция 7. Моделирование технологических процессов. Травление, литография, проявление. Доклад-сообщение содержит 41 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1

Описание слайда:

Моделирование технологических процессов Лекция 7

Слайд 2

Описание слайда:

Вопросы к экзамену Алгоритм струны в моделировании травления и осаждения слоев. Расчет процесса травления для заданного показателя анизотропии. Моделирование процесса литографии. Расчет изображения на поверхности фоторезиста. Расчет интенсивности освещения в пленке фоторезиста. Моделирование процесса проявления.

Слайд 3

Описание слайда:

Слайд 4

Описание слайда:

Выбор моделей травления/осаждения

Слайд 5

Описание слайда:

Примеры различных типов моделей.

Слайд 6

Описание слайда:

Особенности использования геометрических алгоритмов

Слайд 7

Описание слайда:

Примеры моделирования процессов травления/осаждения

Слайд 8

Описание слайда:

Примеры моделирования процессов травления/осаждения

Слайд 9

Описание слайда:

Алгоритм струны

Слайд 10

Описание слайда:

Алгоритм струны (продолжение)

Слайд 11

Описание слайда:

Схема расчета элементарных продвижений точек закрепления струны

Слайд 12

Описание слайда:

Расчет результирующего перемещения

Слайд 13

Описание слайда:

Расчет результирующего перемещения

Слайд 14

Описание слайда:

Точность алгоритма продвижения струны

Слайд 15

Описание слайда:

Алгоритм продвижения струны в присутствии маски

Слайд 16

Описание слайда:

Преобразования струны с добавлением новой точки

Слайд 17

Описание слайда:

Сужение углов между сегментами

Слайд 18

Описание слайда:

Образование областей затенения

Слайд 19

Описание слайда:

Выделение участков затенения

Слайд 20

Описание слайда:

Обобщенная геометрическая модель травления

Слайд 21

Описание слайда:

Результаты моделирования

Слайд 22

Описание слайда:

Цель моделирования фотолитографии

Слайд 23

Описание слайда:

Основные этапы численного моделирования фотолитографии расчет распределения интенсивности света, падающего на поверхность резистивной пленки, или фронтального изображения расчет интенсивности света в пленке как функции глубины расчет нормализованной концентрации светочувствительного компонента (М) в позитивном резисте как функции координат и времени определение скорости проявления R(x,y,z) в каждой точке резистивной пленки расчет процесса проявления с использованием алгоритма продвижения струны

Слайд 24

Описание слайда:

Расчет изображения на поверхности фоторезиста

Слайд 25

Описание слайда:

Распределение освещенности в плоскости фоторезиста

Слайд 26

Описание слайда:

Распределение освещенности в плоскости фоторезиста в случае точечного источника

Слайд 27

Описание слайда:

Распределение освещенности в плоскости фоторезиста для протяженного источника

Слайд 28

Описание слайда:

Два фактора, приводящих к деградации изображения - дифракционные максимумы, которые уменьшаются при увеличении размера источника света; - область полутени, которая увеличивается при увеличении размера источника

Слайд 29

Описание слайда:

Формирование изображения на поверхности фоторезиста

Слайд 30

Описание слайда:

Параметры, характеризующие маску

Слайд 31

Описание слайда:

Параметры, характеризующие маску

Слайд 32

Описание слайда:

Расчет интенсивности освещения в пленке фоторезиста Полная интенсивность I0 уменьшается с глубиной в результате поглощения света резистивным материалом Отражение света от подложки вызывает наложение стоячих волн в пленке на распределение интенсивности по глубине Материал резистивного слоя претерпевает химические изменения в процесс экспонирования Распределение интенсивности по глубине меняется во времени и должно рассчитываться в каждый момент времени отдельно по каждой из имеющихся длин волн Распределение интенсивности света с длиной волны λ в пленке есть функция трех координат и времени: Iλ = Iλ(x, y, z, t)

Слайд 33

Описание слайда:

Физические и химические факторы, учитываемые при расчете распределения интенсивности по глубине интенсивность освещения на поверхности резистивной пленки уменьшение интенсивности с глубиной, связанное с поглощением света материалом пленки отражение света от подложки и возникновение вертикальных стоячих волн распад светочувствительного компонента в процессе экспонирования (отбеливание фоторезиста) в результате химических реакций и, как следствие, зависимость свойств материала пленки от времени

Слайд 34

Описание слайда:

Моделирование нестационарного процесса отбеливания материала резиста

Слайд 35

Описание слайда:

Схема алгоритма анализа прохождения света в тонких пленках

Слайд 36

Описание слайда:

Пример расчетных кривых для распределения интенсивности света в пленке фоторезиста

Слайд 37

Описание слайда:

Моделирование процесса проявления

Слайд 38

Описание слайда:

Скорость травления химически однородных резистов

Слайд 39

Описание слайда:

Полиномиальная аппроксимация скорости травления

Слайд 40

Описание слайда:

Типичный профиль края линии в фоторезисте

Слайд 41

Описание слайда:

Усовершенствованные методы фотолитографии для формирования наноразмерных структур Оптическая коррекция фотошаблонов Фазовая коррекция Программные средства для моделирования: Sentaurus Lithography