🗊Презентация Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4)

Категория: Технология
Нажмите для полного просмотра!
Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №1Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №2Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №3Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №4Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №5Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №6Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №7Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №8Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №9Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №10Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №11Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №12Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №13Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №14Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №15Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №16Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №17Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №18Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №19Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №20Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №21Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №22Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №23Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №24Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №25Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №26Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №27Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №28Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №29Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №30Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №31Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №32Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №33Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №34Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №35Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №36Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №37Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №38Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №39Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №40Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №41Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №42Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №43Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №44Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4), слайд №45
Скачать

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода. (Лекция 4). Доклад-сообщение содержит 45 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1


Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода Горячие носители DIBL – эффект Глубинное смыкание ОПЗ стока и истока Уменьшение подвижности носителей Для их устранения необходимо создавать: 1. LDD –структуру 2. Гало – области 3. «кармашки» 4. Скрытые охранные области
Описание слайда:
Короткоканальные эффекты, обусловленные ОПЗ стокового рп-перехода Горячие носители DIBL – эффект Глубинное смыкание ОПЗ стока и истока Уменьшение подвижности носителей Для их устранения необходимо создавать: 1. LDD –структуру 2. Гало – области 3. «кармашки» 4. Скрытые охранные области

Слайд 2


Ограничения, связанные со смыканием областей ОПЗ истока и стока при уменьшении длины канала
Описание слайда:
Ограничения, связанные со смыканием областей ОПЗ истока и стока при уменьшении длины канала

Слайд 3


Механизм образования горячих носителей
Описание слайда:
Механизм образования горячих носителей

Слайд 4


LDD структура стока
Описание слайда:
LDD структура стока

Слайд 5


Зависимость подвижности носителей от концентрации примеси и величины электрического поля
Описание слайда:
Зависимость подвижности носителей от концентрации примеси и величины электрического поля

Слайд 6


Зависимость подвижности носителей от температуры и электрического поля
Описание слайда:
Зависимость подвижности носителей от температуры и электрического поля

Слайд 7


Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ
Описание слайда:
Структура областей исток-сток наноразмерного МОПТ

Слайд 8


Конструкция и проблемы формирования наноразмерной КМОП структуры
Описание слайда:
Конструкция и проблемы формирования наноразмерной КМОП структуры

Слайд 9


Мелкая щелевая изоляция - ограниченные литографией размеры - независимость ширины от глубины - малая электрическая емкость - отсутствие необходимости в сплошном окислении - паразитные связи
Описание слайда:
Мелкая щелевая изоляция - ограниченные литографией размеры - независимость ширины от глубины - малая электрическая емкость - отсутствие необходимости в сплошном окислении - паразитные связи

Слайд 10


Составной затвор - разные величины работы выхода для затворов n- или p- типов - низкое поверхностное сопротивление - отсутствие проникновения бора - жесткий контроль размеров
Описание слайда:
Составной затвор - разные величины работы выхода для затворов n- или p- типов - низкое поверхностное сопротивление - отсутствие проникновения бора - жесткий контроль размеров

Слайд 11


Исток/сток - мелкая область исток/стока для подавления короткоканальных эффектов - оптимизация концентрационных профилей для повышения надежности и улучшения характеристик - низкое поверхностное сопротивление
Описание слайда:
Исток/сток - мелкая область исток/стока для подавления короткоканальных эффектов - оптимизация концентрационных профилей для повышения надежности и улучшения характеристик - низкое поверхностное сопротивление

Слайд 12


Подзатворный диэлектрик - очень тонкий для подавления короткоканальных эффектов и увеличения тока стока - ограничения: плотность дефектов, туннельный ток, надежность
Описание слайда:
Подзатворный диэлектрик - очень тонкий для подавления короткоканальных эффектов и увеличения тока стока - ограничения: плотность дефектов, туннельный ток, надежность

Слайд 13


Неоднородно легированный канал - подавление короткоканальных эффектов - гало-области для подавления спада Uп при уменьшении Lк - уменьшение емкости p-n переходов
Описание слайда:
Неоднородно легированный канал - подавление короткоканальных эффектов - гало-области для подавления спада Uп при уменьшении Lк - уменьшение емкости p-n переходов

Слайд 14


ЛЕКЦИЯ 4 Формирование боковой диэлектрической изоляции в КМОП БИС
Описание слайда:
ЛЕКЦИЯ 4 Формирование боковой диэлектрической изоляции в КМОП БИС

Слайд 15


Изоляция элементов КМОП структуры
Описание слайда:
Изоляция элементов КМОП структуры

Слайд 16


Пороговое напряжение МОП-транзистора Выравнивание зон Обеднение Инверсия = + + 2
Описание слайда:
Пороговое напряжение МОП-транзистора Выравнивание зон Обеднение Инверсия = + + 2

Слайд 17


ЛОКОС - процесс
Описание слайда:
ЛОКОС - процесс

Слайд 18


Образование «Птичьего клюва»
Описание слайда:
Образование «Птичьего клюва»

Слайд 19


«Птичий клюв»
Описание слайда:
«Птичий клюв»

Слайд 20


Влияние толщины буферного окисла на длину «птичьего клюва» и плотность дефектов
Описание слайда:
Влияние толщины буферного окисла на длину «птичьего клюва» и плотность дефектов

Слайд 21


Влияние толщины нитрида на длину «птичьего клюва» и время маскирования
Описание слайда:
Влияние толщины нитрида на длину «птичьего клюва» и время маскирования

Слайд 22


Побочные эффекты при локальном окислении
Описание слайда:
Побочные эффекты при локальном окислении

Слайд 23


Маршрут изготовления VIP –структуры
Описание слайда:
Маршрут изготовления VIP –структуры

Слайд 24


Этапы формирования щелевой изоляции
Описание слайда:
Этапы формирования щелевой изоляции

Слайд 25


Виды щелевой изоляции
Описание слайда:
Виды щелевой изоляции

Слайд 26


Эффект защелкивания в КМОП структуре
Описание слайда:
Эффект защелкивания в КМОП структуре

Слайд 27


Глубокая щелевая изоляция в КМОП-структуре
Описание слайда:
Глубокая щелевая изоляция в КМОП-структуре

Слайд 28


Щелевая изоляция – твердая маска при формировании карманов
Описание слайда:
Щелевая изоляция – твердая маска при формировании карманов

Слайд 29


Щелевая изоляция – твердая маска при формировании областей сток/исток Электрод затвора
Описание слайда:
Щелевая изоляция – твердая маска при формировании областей сток/исток Электрод затвора

Слайд 30


Зависимость ширины щели от минимального размера
Описание слайда:
Зависимость ширины щели от минимального размера

Слайд 31


Паразитный МОП транзистор
Описание слайда:
Паразитный МОП транзистор

Слайд 32


Влияние температуры и среды на перераспределение примеси при окислении кремния (N в кремнии/N в оксиде)
Описание слайда:
Влияние температуры и среды на перераспределение примеси при окислении кремния (N в кремнии/N в оксиде)

Слайд 33


Боковые инверсные каналы
Описание слайда:
Боковые инверсные каналы

Слайд 34


Пути токов утечек в КМОП инверторах
Описание слайда:
Пути токов утечек в КМОП инверторах

Слайд 35


Подлегирование боковых стенок с помощью имплантации бора
Описание слайда:
Подлегирование боковых стенок с помощью имплантации бора

Слайд 36


Подлегирование боковых стенок диффузией из поверхностного источника
Описание слайда:
Подлегирование боковых стенок диффузией из поверхностного источника

Слайд 37


Процесс формирования щелевой изоляции
Описание слайда:
Процесс формирования щелевой изоляции

Слайд 38


Микрофотография вытравленных щелей
Описание слайда:
Микрофотография вытравленных щелей

Слайд 39


Подтравливание окисла кремния
Описание слайда:
Подтравливание окисла кремния

Слайд 40


Влияние метода окисления на округление угла меза структуры
Описание слайда:
Влияние метода окисления на округление угла меза структуры

Слайд 41


Микрофотография МОП структуры после осаждения поликремния
Описание слайда:
Микрофотография МОП структуры после осаждения поликремния

Слайд 42


Технологические режимы формирования щелевой изоляции
Описание слайда:
Технологические режимы формирования щелевой изоляции

Слайд 43


Формирование щели
Описание слайда:
Формирование щели

Слайд 44


Создание охранной облаксти
Описание слайда:
Создание охранной облаксти

Слайд 45


Формирование изолирующей области
Описание слайда:
Формирование изолирующей области

Скачать

Похожие презентации
Mypresentation.ru
Загрузить презентацию