🗊Презентация Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС

Категория: Физика
Нажмите для полного просмотра!
Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №1Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №2Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №3Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №4Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №5Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №6Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №7Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №8Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №9Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №10Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №11Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №12Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №13Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №14Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №15Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №16Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №17Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №18Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №19Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №20Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №21Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №22Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №23Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №24Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №25Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №26Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №27Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №28Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №29Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №30Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №31Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС, слайд №32
Скачать

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС. Доклад-сообщение содержит 32 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1


Наномеханика Nanomechanics of materials and systems Лекция 12 Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС Materials and technologies of nano- and micro-electro-mechanical systems NEMS/MEMS
Описание слайда:
Наномеханика Nanomechanics of materials and systems Лекция 12 Материалы и технологии изготовления нано- и микро-электромеханических систем НЭМС/МЭМС Materials and technologies of nano- and micro-electro-mechanical systems NEMS/MEMS

Слайд 2


Базовый цикл создания НЭМС. Base cycle of NEMS formation.
Описание слайда:
Базовый цикл создания НЭМС. Base cycle of NEMS formation.

Слайд 3


Литография Lithography Нанесение резиста Перенесение изображения маски на резист Селективное травление резиста и материала под ним
Описание слайда:
Литография Lithography Нанесение резиста Перенесение изображения маски на резист Селективное травление резиста и материала под ним

Слайд 4


Травление Etching
Описание слайда:
Травление Etching

Слайд 5


Травление кремния Etching of Si
Описание слайда:
Травление кремния Etching of Si

Слайд 6


Профиль травления Etch profile
Описание слайда:
Профиль травления Etch profile

Слайд 7


Анизотропное травление Anisotropic etching
Описание слайда:
Анизотропное травление Anisotropic etching

Слайд 8


Анизотропное травление Anisotropic etching
Описание слайда:
Анизотропное травление Anisotropic etching

Слайд 9


Формирование подвешенных нано-балок Suspended nano/micro beams
Описание слайда:
Формирование подвешенных нано-балок Suspended nano/micro beams

Слайд 10


Мембрана над полостью Suspended membrane
Описание слайда:
Мембрана над полостью Suspended membrane

Слайд 11


Электро-химическое травление Electro-chemical etching
Описание слайда:
Электро-химическое травление Electro-chemical etching

Слайд 12


Подвешенный островок кремния Suspended Si island
Описание слайда:
Подвешенный островок кремния Suspended Si island

Слайд 13


DRIE
Описание слайда:
DRIE

Слайд 14


Зависимость скорости травления от формы. Aspect-ratio-dependent etching in DRIE.
Описание слайда:
Зависимость скорости травления от формы. Aspect-ratio-dependent etching in DRIE.

Слайд 15


DRIE
Описание слайда:
DRIE

Слайд 16


Анодное сращивание. Anodic bonding
Описание слайда:
Анодное сращивание. Anodic bonding

Слайд 17


Прямое сращивание кремния и поликремния Direct bonding of Si
Описание слайда:
Прямое сращивание кремния и поликремния Direct bonding of Si

Слайд 18


Химико-механическая полировка Chemical-mechanical polishing
Описание слайда:
Химико-механическая полировка Chemical-mechanical polishing

Слайд 19


Sol-gel deposition
Описание слайда:
Sol-gel deposition

Слайд 20


Лазерная обработка Laser machining
Описание слайда:
Лазерная обработка Laser machining

Слайд 21


Гальваническое осаждение. Galvanic deposition.
Описание слайда:
Гальваническое осаждение. Galvanic deposition.

Слайд 22


Ультразвуковая шлифовка. Ultrasonic treatment.
Описание слайда:
Ультразвуковая шлифовка. Ultrasonic treatment.

Слайд 23


Цикл формирования НЭМС. Example
Описание слайда:
Цикл формирования НЭМС. Example

Слайд 24


Некоторые пары конструкционных и вспомогательных материалов МЭМС. Structural and sacrificial materials.
Описание слайда:
Некоторые пары конструкционных и вспомогательных материалов МЭМС. Structural and sacrificial materials.

Слайд 25


Закритическое высушивание. Supercritical drying.
Описание слайда:
Закритическое высушивание. Supercritical drying.

Слайд 26


Комбинирование сращивания и DRIE Combination of bonding and DRIE
Описание слайда:
Комбинирование сращивания и DRIE Combination of bonding and DRIE

Слайд 27


Комбинирование сращивания и DRIE Combination of bonding and DRIE
Описание слайда:
Комбинирование сращивания и DRIE Combination of bonding and DRIE

Слайд 28


Комбинирование Combination SOI - DRIE
Описание слайда:
Комбинирование Combination SOI - DRIE

Слайд 29


Комбинирование Combination SOI - DRIE
Описание слайда:
Комбинирование Combination SOI - DRIE

Слайд 30


Микро- и нано-сопла для струйных принтеров и систем инжекции топлива. Micro/nano-nozzles.
Описание слайда:
Микро- и нано-сопла для струйных принтеров и систем инжекции топлива. Micro/nano-nozzles.

Слайд 31


Микро- и нано-сопла с боковым выходом. Micro/nano-nozzles and channels.
Описание слайда:
Микро- и нано-сопла с боковым выходом. Micro/nano-nozzles and channels.

Слайд 32


Наношарниры Nanohinge
Описание слайда:
Наношарниры Nanohinge

Скачать

Похожие презентации
Mypresentation.ru
Загрузить презентацию