Механическая обработка кремниевых пластин - презентация, доклад, проект скачать

Нажмите для полного просмотра!

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №1

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №2

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №3

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №4

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №5

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №6

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №7

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №8

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №9

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №10

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №11

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №12

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №13

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №14

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №15

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №16

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №17

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №18

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №19

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №20

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №21

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №22

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №23

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №24

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №25

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №26

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №27

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №28

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №29

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №30

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №31

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №32

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №33

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №34

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №35

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №36

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №37

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №38

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №39

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №40

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №41

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №42

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №43

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №44

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №45

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №46

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №47

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №48

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №49

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №50

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №51

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №52

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №53

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №54

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №55

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №56

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №57

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №58

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №59

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №60

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №61

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №62

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №63

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №64

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №65

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №66

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №67

Механическая обработка кремниевых пластин, слайд №68

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Механическая обработка кремниевых пластин. Доклад-сообщение содержит 68 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1

Описание слайда:

Механическая обработка кремниевых пластин

Слайд 2

Описание слайда:

Структуру нарушенного слоя полупроводниковой пластины Структура нарушенного при механической обработке поверхностного слоя: 1 - рельефный слой; 2 - микротрещины; 3 - область скопления дислокаций; 4 - монокристалл В нарушенном слое, кроме структурных, возможно образование и концентрационных неоднородностей, которые связаны с сегрегацией примесей на дислокациях, что может изменять электрофизические свойства материала, влияя на электрические параметры элементов микросхем.

Слайд 3

Описание слайда:

Виды поверхностных загрязнений

Слайд 4

Описание слайда:

Слайд 5

Описание слайда:

Слайд 6

Описание слайда:

Слайд 7

Описание слайда:

Химическое травление кремния Доставка реагента из объема раствора к поверхности пластины Химическое взаимодействие реагента с поверхностью Десорбция продуктов реакции и их удаление в объем раствора

Слайд 8

Описание слайда:

Доставка молекул из объема травителя к поверхности пластины Доставка молекул из объема травителя к поверхности пластины При однородном распределении травителя в растворе в t0 При равновесии скоростей диффузии реагента и химической реакции Результирующая скорость реакции травления

Слайд 9

Описание слайда:

Слайд 10

Описание слайда:

Варианты травителей Полирующие травители Травитель для ХДП Селективный травитель

Слайд 11

Описание слайда:

Анизотропное травление Селективный травитель называется анизотропным, когда скорость травления кремния в определенном кристаллографическом направлении во много раз превышает скорость в других направлениях. Один из вариантов состава таких травителей следующиий (мол.%): этилендиамин (NH2(CH2)NH2) (35,1) + пирокатехин (C6H4(OH)2) (3,7) + вода (61,2) Также широко используется 5 - 30%-ный водный раствор щелочи KOH или NaOH Соотношение скоростей травления для основных плоскостей кремния в этилендиаминовом травителе такое: (111):(110):(100) = = 3:30:50 мкм/ч

Слайд 12

Описание слайда:

Травление окисла и нитрида кремния

Слайд 13

Описание слайда:

Очистка пластин в растворах на основе перекиси водорода

Слайд 14

Описание слайда:

Слайд 15

Описание слайда:

Слайд 16

Описание слайда:

Для чего нужна «чистая комната»? Чистая комната предназначена для защиты от загрязнений следующих типов: Неорганических • Минеральные частицы • Металлические частицы Химических • Производные углеводорода • Органические составы Микробиологических • Бактерии • Вирусы • Споры • Грибки • Клещи • Пыльца

Слайд 17

Описание слайда:

Слайд 18

Описание слайда:

Слайд 19

Описание слайда:

Слайд 20

Описание слайда:

Слайд 21

Описание слайда:

Слайд 22

Описание слайда:

Слайд 23

Описание слайда:

Слайд 24

Описание слайда:

Слайд 25

Описание слайда:

Слайд 26

Описание слайда:

Слайд 27

Описание слайда:

Слайд 28

Описание слайда:

Функциональное назначение пленок термического SiO2 в ИС

Слайд 29

Описание слайда:

Слайд 30

Описание слайда:

Слайд 31

Описание слайда:

Слайд 32

Описание слайда:

Слайд 33

Описание слайда:

Физический механизм роста окисла при высокой температуре

Слайд 34

Описание слайда:

Слайд 35

Описание слайда:

Слайд 36

Описание слайда:

Слайд 37

Описание слайда:

Слайд 38

Описание слайда:

Структура двуокиси кремния (двумерная модель)

Слайд 39

Описание слайда:

Слайд 40

Описание слайда:

Слайд 41

Описание слайда:

Модель Дила - Гроува

Слайд 42

Описание слайда:

Слайд 43

Описание слайда:

Слайд 44

Описание слайда:

Слайд 45

Описание слайда:

Слайд 46

Описание слайда:

Слайд 47

Описание слайда:

Слайд 48

Описание слайда:

Слайд 49

Описание слайда:

Влияние температуры окисления

Слайд 50

Описание слайда:

Влияние ориентации подложки

Слайд 51

Описание слайда:

Слайд 52

Описание слайда:

Влияние типа и концентрации примеси в подложке

Слайд 53

Описание слайда:

Слайд 54

Описание слайда:

Влияние парциального давления окислителя

Слайд 55

Описание слайда:

Слайд 56

Описание слайда:

Оборудование для окисления

Слайд 57

Описание слайда:

Слайд 58

Описание слайда:

Свойства пленок SiO2

Слайд 59

Описание слайда:

Методы Контроля Параметров Диэлектрических Слоев Основные параметры слоя SiО2, учитываемые при проектировании ИС: плотность коэффициент преломления удельное сопротивление диэлектрическую постоянную диэлектрическую прочность скорость травления В производстве контролируют: скорость травления толщину плотность дефектов заряд в структуре кремний - диэлектрик.

Слайд 60

Описание слайда:

Контроль толщины Метод цветовых оттенков Ньютона

Слайд 61

Описание слайда:

Слайд 62

Описание слайда:

Интерферометрия Сущность метода заключается в измерении высоты "ступеньки" после стравливания пленки диэлектрика с части пластины. При наблюдении ступеньки с помощью микроинтерферометра на фоне поверхности видны серии интер-ференционных полос, которые претерпевают излом на ступеньке (рис.2.10). Толщина пленки пропорциональна сдвигу интерференционных полос: x = (h/h)/2, где h - сдвиг полосы, отн. ед.; h - расстояние между соседними интерференционными полосами, мкм;  - длина волны для видимого света, /2 = 0,27 мкм.