🗊Презентация Разработка методики обеспечения высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок в микро- и наноэлектронике

Образец презентации к защите проекта 2

Разработка методики обеспечения высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок в микро- и наноэлектронике Чупракова Наталья ученица 11 класса ГБОУ РМЭ «Многопрофильный лицей-интернат», п. Руэм

Актуальность, объект и предмет исследования: Актуальность: для того чтобы покрытие обладало хорошей адгезионной способностью необходимо использовать многослойные тонкоплёночные структуры и нужно разработать методику нанесения этих структур, позволяющую обеспечить высокую адгезионную способность как слоёв между собой, так и совокупности слоёв с подложкой Объект: адгезионная способность тонких металлических плёнок Предмет: обеспечение высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок

Цель работы и задачи: Цель: разработать методику обеспечения высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок в многослойной тонкоплёночной структуре микро- и наноэлектроники; Задачи: 1. выявить влияние нагрева металлических тонкоплёночных структур на адгезионную способность тонких металлических плёнок; 2. разработать методику обеспечения высокой адгезионной способности тонких металлических плёнок в многослойной тонкоплёночной структуре микро- и наноэлектроники.

Результаты социологического опроса в ГБОУ РМЭ «Многопрофильный лицей-интернат», п. Руэм

Понятие адгезионной способности плёнок Адгезия (от лат. adhaesio — прилипание) в физике — сцепление поверхностей разнородных твёрдых и/или жидких тел. Адгезия обусловлена межмолекулярным взаимодействием.

Теории адгезии Адгезия представляет собой сложное явление, и с этим связано существование множества теорий, трактующих явление адгезии с различных позиций. В настоящее время известны следующие теории адгезии: Адсорбционная теория. Согласно этой теории адгезия осуществляется в результате адсорбции адгезива на порах и трещинах поверхности подложки. Механическая теория. Теория рассматривает адгезию как результат проявления сил межмолекулярного взаимодействия между контактирующими молекулами адгезива и подложки. Электрическая теория. Основное положение этой теории заключается в том, что система адгезив - подложка отождествляется с конденсатором, а двойной электрический слой, возникающий при контакте двух разнородных поверхностей, - с прослойкой конденсатора. Электронная теория.. Согласно этой теории, адгезия рассматривается как результат молекулярного взаимодействия поверхностей, различных по своей природе. Диффузионная теория. Адгезия, согласно данной теории, сводится к взаимной или односторонней диффузии молекул адгезива и подложки. Химическая теория. Сторонники этой теории считают, что во многих случаях адгезия может быть объяснена не физическим, а химическим взаимодействием.

Оборудование для эксперимента

Оборудование для эксперимента

Зависимость сцепления тонкой плёнки меди (Cu) с подложкой из ситалла от температуры их нагрева

Исследование структуры тонких плёнок меди (Cu) и хрома (Cr)

Метод магнетронного распыления – перспективный метод получения слоистых структур

Предлагаемая методика обеспечения высокой адгезии

Выводы 1. С увеличением нагревания металлических тонкоплёночных проводящих структур Sn/ситалл и Cu/стекло адгезионная способность тонких металлических плёнок резко падает, в некоторых случаях, с незначительным последующим увеличением, что можно объяснить большим различием коэффициентов термического расширения плёнки и подложки и градиентом термического нагрева. 2. Исследования структур адгезионных плёнок Cr/ситалл и Ti/ситалл показали, что эти плёнки обладают мощной адгезией к подложкам. Их так и не удалось оторвать от подложки даже при нагревании (ломалась подложка, а плёнка не отрывалась). 3. Предложена новая методика обеспечения высокой адгезионной способности тонких проводящих металлических плёнок, основанная на регулировании величины и градиента переходных адгезионных слоёв в технологическом процессе получения многослойной тонкоплёночной структуры микро- и наноэлектроники с использованием метода магнетронного распыления. Оформляется заявка на получение патента РФ.

Практическая значимость работы Результаты исследований могут быть применены в электронной промышленности, машиностроении и везде, где используются многослойные тонкоплёночные структуры.