Описание слайда:
Основные публикации исполнителя проекта
V. V. Polyakova, V. A. Smirnov, and O. A. Ageev A Study of Nanoscale Profiling Modes of a Silicon Surface via Local Anodic Oxidation // Nanotechnologies in Russia, 2018, Vol. 13, Nos. 1–2, pp. 84–89., 2018.
V.A. Smirnov, R.V. Tominov, N.I. Alyab’eva, M.V. Il’ina, V.V. Polyakova, Al.V. Bykov, O.A. Ageev Atomic Force Microscopy Measurement of the Resistivity of Semiconductors // Technical Physics, 2018, Vol. 63, No. 8, pp. 1236–1241, 2018,Vol. 88, No. 8, pp. 1273–1278
А.В. Быков, А.С. Коломийцев,В.В.Полякова, В.А. Смирнов Профилирование зондов для сканирующей зондовой нанодиагностики методом фокусированных ионных пучков // Известия ЮФУ. Технические науки Октябрь 2014
В.А. Смирнов, В.И. Авилов, В.В. Полякова, Л.Р. Саубанова, М.С. Солодовник, О.Г. Цуканова, С.Ю. Краснобородько Профилирование эпитаксиальных слоев арсенида галлия методом локального анодного окисления//Статья Известия ЮФУ. Технические науки №9, 2015 – С. 84-93
Polyakova, I .N. Kots, O.A. Ageev Investigation of modes profiling of silicon surface by the method of local anodic oxidation to create promising elements of nnoelectronics//IC Micro- and Nanoelectronics with the Extended Session IC MNE2018 , 2018
V.V. Polyakova, I.N. Kots Silicon Substrate Surface Nanoprofiling by Local Anodic Oxidation to Create Nanoelectronics Elements// International Conference on "Physics and Mechanics of New Materials and Their Applications“ (PIIENMA 2018) August 9-11, 2018 Korea maritime and Ocean University , Busan, Republic of Korea
V.V. Polyakova1, I.N. Kots1, V.A. Smirnov1, O.A. Ageev Study of the surface profiling of silicon based on the method of local anodic oxidation using scanning probe microscopy //International Conference Scanning probe microscopy August 26-29, 2018 Ekaterinburg
