Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом

Нажмите для полного просмотра!

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №2

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №3

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №4

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №5

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №6

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №7

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №8

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №9

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №10

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №11

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №12

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №13

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №14

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №15

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №16

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №17

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №18

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №19

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №20

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №21

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №22

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №23

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №24

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №25

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом, слайд №26

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом. Доклад-сообщение содержит 26 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1

Описание слайда:

Изготовление биполярной ИС с изоляцией транзисторов p-n-переходом

Слайд 2

Описание слайда:

Создание скрытого коллекторного слоя Обработка поверхности пластины кремния p -типа Окисление Фотолитография – формирование рисунка в оксиде Загонка мышьяка (диффузия из источника неограниченной мощности) Удаление оксида Выращивание эпитаксиального слоя кремния n -типа Окисление с разгонкой примеси

Слайд 3

Описание слайда:

Создание изолирующих областей Фотолитография – формирование рисунка в оксиде Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности) Окисление с разгонкой примеси

Слайд 4

Описание слайда:

Создание глубокого коллектора Фотолитография – формирование рисунка в оксиде Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности) Окисление с разгонкой примеси

Слайд 5

Описание слайда:

Создание пассивной базы Фотолитография – формирование рисунка в оксиде Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности) Окисление с разгонкой примеси

Слайд 6

Описание слайда:

Создание активной базы Фотолитография – формирование рисунка в оксиде Загонка бора (диффузия из источника неограниченной мощности) Окисление с разгонкой примеси

Слайд 7

Описание слайда:

Создание эмиттера Фотолитография – формирование рисунка в оксиде Загонка фосфора (диффузия из источника неограниченной мощности) Окисление с разгонкой примеси

Слайд 8

Описание слайда:

Создание металлизации Фотолитография – вскрытие окон в оксиде для создания контактов к областям Напыление алюминия с 1% кремния Фотолитография – формирование рисунка в слое металла Нанесение оксида кремния плазмохимическим методом Термообработка – «вжигание» контактов Фотолитография – вскрытие окон в диэлектрике над контактными площадками

Слайд 9

Описание слайда:

Изготовление биполярной ИС с изопланарной изоляцией транзисторов

Слайд 10

Описание слайда:

Локальное окисление кремния

Слайд 11

Описание слайда:

Слайд 12

Описание слайда:

Создание изолирующих областей Нанесение нитрида кремния химическим осаждением из газовой фазы Фотолитография – формирование рисунка в оксиде и нитриде Травление канавок на половину глубины изолирующих областей Фотолитография – средняя канавка закрывается фоторезистом Ионная имплантация бора в канавки Удаление фоторезиста Окисление Удаление нитрида кремния

Слайд 13

Описание слайда:

Слайд 14

Описание слайда:

Слайд 15

Описание слайда:

Слайд 16

Описание слайда:

Слайд 17

Описание слайда:

Слайд 18

Описание слайда:

Изготовление биполярной ИС с щелевой изоляцией транзисторов

Слайд 19

Описание слайда:

Слайд 20

Описание слайда:

Создание скрытого коллекторного слоя Обработка поверхности пластины кремния p -типа Загонка мышьяка (диффузия из источника неограниченной мощности) Выращивание эпитаксиального слоя кремния n -типа Окисление

Слайд 21

Описание слайда:

Создание изолирующих областей Фотолитография – формирование рисунка в оксиде Ионное травление канавок до глубины средней канавки Фотолитография – средняя канавка закрывается фоторезистом Ионное травление изолирующих канавок Ионная имплантация бора в канавки Удаление фоторезиста Окисление Осаждение поликремния в канавки Окисление