Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом

Нажмите для полного просмотра!

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №2

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №3

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №4

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №5

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №6

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №7

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №8

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №9

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №10

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №11

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №12

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №13

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №14

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №15

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №16

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №17

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №18

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №19

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №20

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №21

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №22

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №23

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №24

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №25

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №26

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №27

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №28

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №29

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №30

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №31

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №32

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №33

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №34

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №35

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №36

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №37

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №38

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №39

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №40

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №41

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №42

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №43

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №44

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №45

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №46

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №47

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №48

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №49

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №50

Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом, слайд №51

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом. Доклад-сообщение содержит 51 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1

Описание слайда:

Слайд 2

Описание слайда:

План лекции Классификация методов исследования поверхности, основанных на взаимодействии излучения с веществом. Схема возбуждения и релаксации электронов при ионизирующем облучении. Оже-электронная спектроскопия (AES), ее варианты. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (XPS). Физические принципы методов и аппаратурное оформление. Масс-спектрометрия вторичных ионов – принципы и возможности. Иные методы зондирования поверхности заряженными и незаряженными частицами.

Слайд 3

Описание слайда:

Слайд 4

Описание слайда:

Слайд 5

Описание слайда:

Методы зондирования поверхности с целью анализа морфологии и состава

Слайд 6

Описание слайда:

Методы зондирования поверхности с целью анализа морфологии и состава

Слайд 7

Описание слайда:

Возможные взаимодействия электронов с твердым объектом

Слайд 8

Описание слайда:

ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ

Слайд 9

Описание слайда:

Толщина анализируемого слоя не велика – 1–2 нм, ввиду того, что электроны с энергией 5–2000 эВ, используемые в анализе, сильно рассеиваются в твердом теле. Толщина анализируемого слоя не велика – 1–2 нм, ввиду того, что электроны с энергией 5–2000 эВ, используемые в анализе, сильно рассеиваются в твердом теле. Оже-эффект наблюдается у всех элементов периодической системы, начиная с Li, причем его вероятность для легких элементов достигает 0,99 и убывает с увеличением порядкового номера. В твердом теле, наряду с переходами между внутренними уровнями атома, наблюдаются переходы (типа LMV, LVV и т.д.) с участием электронов валентной зоны. Спектры оже-электронов регистрируют с помощью оже-спектрометров, которые состоят из (1) источника ионизирующего излучения, (2) камеры для размещения исследуемых образцов, (3) энергоанализатора и детектора электронов.

Слайд 10

Описание слайда:

ОЖЕ-СПЕКТРОМЕТР Оже спектрометр PHI-660 сканирующий (Perkin-Elemer)

Слайд 11

Описание слайда:

Схема растрового ОЖЕ-спектрометра 1 – образец, 2 – коллектор для сбора вторичных электронов, 3 – энергоанализатор, 4 – детектор энергоанализатора, 5 – электронно-лучевая трубка, 6 – катод электронной пушки, 7 – модулятор электронной пушки, 8 – отклоняющие пластины электронно-лучевой трубки, служащие для получения растра, 9 – экран электронно-лучевой трубки. Есть высоковакуумные приборы, работающие в сканирующем варианте.

Слайд 12

Описание слайда:

В качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 3 до 10 кэВ, а в приборах с пространственным разрешением менее 0,1 мкм – с энергией свыше 10 кэВ. В качестве ионизирующего излучения используют электронные пучки с энергией от 3 до 10 кэВ, а в приборах с пространственным разрешением менее 0,1 мкм – с энергией свыше 10 кэВ. Для измерения кинетической энергии электронов применяют дисперсионные электростатические энергоанализаторы (с электродом в виде цилиндра или полусферы). Для детектирования электронов служат электронные умножители (например, каналтроны), имеющие высокую эффективность счета низкоэнергетических электронов при малом уровне фона. Оже-спектрометры дают возможность получать энергетич. спектры в виде зависимостей N(E) – E и [dN(E)/dE] – E (рис.), где N(E) – интенсивность тока, характеризующая выход оже-электронов, т.е. число оже-электронов, испускаемых исследуемым объектом в единицу времени.

Слайд 13

Описание слайда:

Слайд 14

Описание слайда:

Изображение разлома легированной стали и соответствующая ОЖЕ-картина

Слайд 15

Описание слайда:

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия РФЭС (англ.: X-ray photoelectron spectroscopy, XPS)

Слайд 16

Описание слайда:

Схема и внешний вид прибора РФЭС

Слайд 17

Описание слайда:

Пример спектра РФЭС

Слайд 18

Описание слайда:

Применение XPS и AES XPS и AES (вместе с SAM, его сканирующим вариантом) широко используются во всех областях фундаментальных и прикладных наук, а также для выявления дефектов и в целях контроля качества и степени модифицирования поверхностей. Из наиболее важных прикладных залач можно выделить следующие: металлургия (в том числе инженерия поверхности), коррозия и защита от коррозии, материалы и устройства, используемые в микроэлектронике, полимеры и их адгезия.

Слайд 19

Описание слайда:

Использование ОЖЕ- и РФЭС-спектроскопии

Слайд 20

Описание слайда:

Масс-спектрометрия вторичных ионов (МСВИ) (англ.: Secondary-Ion Mass Spectrometry, SIMS) Метод масс-спектрометрии, основан на получении ионов из малолетучих, полярных, термически нестойких соединений. Характеристика профиля тонких пленок и поверхности диэлектриков. Характеризация процесса сверхмелкой имплантации легирующих примесей, используемых, например, в производстве полупроводниковых устройств

Слайд 21

Описание слайда:

Масс-спектрометрия вторичных ионов

Слайд 22

Описание слайда:

Прибор МСВИ

Слайд 23

Описание слайда:

Вариант: времяпролётный масс-анализатор для обнаружения органических загрязнителей поверхности

Слайд 24

Описание слайда:

Метод малоуглового рассеяния нейтронов МУРН (англ. small angle neutron scattering , SANS) — упругое рассеяние пучка медленных нейтронов на неоднородностях вещества, размеры которых существенно превышают длину волны излучения, которая составляет λ = 0,1–1,0 нм). При этом направления рассеянных лучей лишь незначительно (на малые углы) отклоняются от направления падающего луча. В целом методы малоуглового рентгеновского и нейтронного рассеяния схожи в теоретическом обосновании и способах обработки данных.

Слайд 25

Описание слайда:

Схема метода SANS

Слайд 26

Описание слайда:

Слайд 27

Описание слайда:

Слайд 28

Описание слайда:

Слайд 29

Описание слайда:

Алов Н.В., Лазов М.А., Ищенко А.А. Методы анализа поверхности. Ч. 2. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Учебное пособие. – М.: МИТХТ. 2013, 66 c. Алов Н.В., Лазов М.А., Ищенко А.А. Методы анализа поверхности. Ч. 2. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия. Учебное пособие. – М.: МИТХТ. 2013, 66 c. Алов Н.В. Электронная спектроскопия. В кн.: Основы аналитической химии. Т. 2. / Под ред. Ю.А. Золотова. 4-е изд. – М.: Изд. центр «Академия», 2010, с. 130-139. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля. – М.: Техносфера, 2006, 377 с. Миронов В.Л. Основы сканирующей зондовой микроскопии. – М.: Техносфера, 2004, 143 с. Свергун Д.И., Фейгин Л.А. Рентгеновское и нейтронное малоугловое рассеяние. – М.: Наука, 1986, 279 с.