🗊Презентация Мікро- і наноелектроніка

ОСНОВИ МІКРО- ТА НАНОЕЛЕКТРОНІКИ Лекція 01 Вступ Мікро- і наноелектроніка Анатолій Євтух Інститут високих технологій Київського національного університету імені Тараса Шевченка

Предмет наукових досліджень електроніки- вивчення законів взаємодії електронів та інших заряджених частинок з електромагнітними полями і розробка методів створення електронних приладів, в яких ця взаємодія використовується для перетворення електромагнітної енергії з метою передачі, обробки і зберігання інформації, автоматизації виробничих процесів, створення енергетичних пристроїв, контрольно-вимірювальної апаратури, засобів наукового експерименту та ін.

Електроніка

Мікро- та нано Мікро- 100 мкм ≥ L ≥ 1 мкм СубМікро- 1 мкм ≥ L ≥ 0,1 мкм Нано- 100 нм ≥ L ≥ 1 нм СубНано- 1 нм ≥ L ≥ 0 нм

Вакуумна електроніка 1. Електронна емісія. 2. Формування потоків електронів, іонів, керування цими потоками. 3. Формування електромагнітних полів за допомогою резонатора, затримуючих систем, пристроїв вводу-виводу енергії. 4. Катодолюмінесценція. 5. Фізика і техніка високого вакууму (отримання, зберігання і виміри). 6. Теплофізичні процеси, повязані з технологією виготовлення і роботою електронних приладів. 7. Фізико-хімічні процеси на поверхні електродів і ізоляторів. 8. Технологія обробки поверхні в тому числі електронної, іонної та лазерної обробки. 9. Отримання і підтримка оптимального складу і тиску газів в газорозрядних приладах та ін.

Твердотільна електроніка 1. Вивчення властивостей твердотільних матеріалів (напівпровідникових, діелектричних, магнітних та ін.), впливу на ці властивості домішок і особливостей структури матеріалу. 2. Вивчення властивостей поверхонь і границь розділу між шарами різних матеріалів. 3. Створення в кристалі методами епітаксії, дифузії, іонної імплантації та ін. областей з різними типами провідності. 4. Формування методами плазмового травлення, оптичної, електронної та рентгенівської літографій діелектричних і металічних плівок на напівпровідникових матеріалах. 5. Створення гетеропереходів і багатошарових структур. 6. Дослідження властивостей динамічних неоднорідностей. 7. Створення функціональних пристроїв мікронних, субмікронних і нанорозмірів, а також способів вимірювання їх параметрів.

Напівпровідникова електроніка Основний напрям твердотільної електроніки – напівпровідникова електроніка звязана з розробкою і виготовленням різних видів напівпровідникових приладів: діодів, транзисторів (біполярних і польових), тиристорів, аналогових і цифрових ІС різного ступеню інтеграції, оптоелектронних приладів (світловипромінюючих діодів, фотодіодів, фототранзисторів, оптронів, світлодіодних і фотодіодних матриць).

Квантова електроніка 1. Розробка методів і пристроїв підсилення і генерації електромагнітних коливань на основі ефекту змушеного випромінення атомів, молекул, і твердих тіл. 2. Створення оптичних квантових генераторів (лазерів). 3. Створення квантових підсилювачів. 4. Створення молекулярних генераторів. та ін.

Технологія електронних приладів 1. Групове виробництво. 2. Електронне матеріалознавство. 3. Електронне машинобудування. 4. Клас чистоти.

Глибоке проникнення електроніки в життя людини 1. Радіо. 2. Телебачення. 3. Компютер. 4. Інтернет. 5. Мобільний телефон. 6. Інтелектуальні сенсори. 7. Літаки, супутники, автомобілі. і багато-багато ін.

Fabrication plant cost as a function of year. Notice the tremendous cost projected by the year 2010.

Gross world product (GWP) and sales volumes of the electronics, automobile, semiconductor, and steel industries from 1980 to 2000 and projected to 2010

Device Building Blocks

Major Semiconductor Devices (20)

Key Semiconductor Technologies (21) Year Technology Author(s)/Inventor(s)

THANK YOU!