🗊 Презентация Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2)

Категория: Экономика и Финансы
Нажмите для полного просмотра!
Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №1 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №2 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №3 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №4 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №5 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №6 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №7 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №8 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №9 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №10 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №11 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №12 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №13 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №14 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №15 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №16 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №17 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №18 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №19 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №20 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №21 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №22 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №23 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №24 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №25 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №26 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №27 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №28 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №29 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №30 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №31 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №32 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №33 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №34 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №35 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №36 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №37 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №38 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №39 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №40 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №41 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №42 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №43 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №44 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №45 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №46 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №47 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №48 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №49 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №50 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №51 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №52 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №53 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №54 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №55 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №56 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №57 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №58 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №59 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №60 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №61 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №62 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №63 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №64 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №65 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №66 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №67 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №68 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №69 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №70 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №71 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №72 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №73 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №74 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №75 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №76 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №77 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №78 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №79 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №80 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №81 Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №82
Скачать

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2). Доклад-сообщение содержит 82 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1


Наноэлектроника
Описание слайда:
Наноэлектроника

Слайд 2


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №2
Описание слайда:

Слайд 3


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №3
Описание слайда:

Слайд 4


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №4
Описание слайда:

Слайд 5


Иммерсионная литография: увеличение числовой апертуры (NA) NA = n sinθ, где n – коэффициент преломления среды между линзой и фоторезистивной маской...
Описание слайда:
Иммерсионная литография: увеличение числовой апертуры (NA) NA = n sinθ, где n – коэффициент преломления среды между линзой и фоторезистивной маской (для воздуха n = 1), θ – наибольший угол сбора лучей с поверхности резиста и определяется размером линзы. NA выросла за счёт разработки новых линз от 0.5 (1990 г.) до 0.8 (2004 г.) и предполагается её рост до 1 и более в будущем. На пути совершенствования линз есть большие сложности (вес проекционных линз, уменьшающих рисунок шаблона, составляет более 1000 кг). Более простой путь – это увеличение n за счёт замены воздуха на жидкую среду с большим n, например, на DI воду (n = 1.43662 на = 193 нм и 21.5 С, рост NA на 44%). Это иммерсионная литография, первые установки использованы в промышленности в 2007 году.

Слайд 6


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №6
Описание слайда:

Слайд 7


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №7
Описание слайда:

Слайд 8


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №8
Описание слайда:

Слайд 9


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №9
Описание слайда:

Слайд 10


Установка иммерсионной литографии
Описание слайда:
Установка иммерсионной литографии

Слайд 11


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №11
Описание слайда:

Слайд 12


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №12
Описание слайда:

Слайд 13


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №13
Описание слайда:

Слайд 14


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №14
Описание слайда:

Слайд 15


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №15
Описание слайда:

Слайд 16


Экстремальная ультрафиолетовая литография
Описание слайда:
Экстремальная ультрафиолетовая литография

Слайд 17


Источник импульсной лазерной плазмы
Описание слайда:
Источник импульсной лазерной плазмы

Слайд 18


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №18
Описание слайда:

Слайд 19


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №19
Описание слайда:

Слайд 20


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №20
Описание слайда:

Слайд 21


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №21
Описание слайда:

Слайд 22


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №22
Описание слайда:

Слайд 23


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №23
Описание слайда:

Слайд 24


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №24
Описание слайда:

Слайд 25


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №25
Описание слайда:

Слайд 26


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №26
Описание слайда:

Слайд 27


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №27
Описание слайда:

Слайд 28


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №28
Описание слайда:

Слайд 29


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №29
Описание слайда:

Слайд 30


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №30
Описание слайда:

Слайд 31


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №31
Описание слайда:

Слайд 32


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №32
Описание слайда:

Слайд 33


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №33
Описание слайда:

Слайд 34


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №34
Описание слайда:

Слайд 35


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №35
Описание слайда:

Слайд 36


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №36
Описание слайда:

Слайд 37


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №37
Описание слайда:

Слайд 38


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №38
Описание слайда:

Слайд 39


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №39
Описание слайда:

Слайд 40


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №40
Описание слайда:

Слайд 41


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №41
Описание слайда:

Слайд 42


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №42
Описание слайда:

Слайд 43


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №43
Описание слайда:

Слайд 44


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №44
Описание слайда:

Слайд 45


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №45
Описание слайда:

Слайд 46


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №46
Описание слайда:

Слайд 47


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №47
Описание слайда:

Слайд 48


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №48
Описание слайда:

Слайд 49


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №49
Описание слайда:

Слайд 50


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №50
Описание слайда:

Слайд 51


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №51
Описание слайда:

Слайд 52


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №52
Описание слайда:

Слайд 53


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №53
Описание слайда:

Слайд 54


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №54
Описание слайда:

Слайд 55


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №55
Описание слайда:

Слайд 56


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №56
Описание слайда:

Слайд 57


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №57
Описание слайда:

Слайд 58


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №58
Описание слайда:

Слайд 59


S-FIL технология
Описание слайда:
S-FIL технология

Слайд 60


Импринтинг: технология
Описание слайда:
Импринтинг: технология

Слайд 61


Обращенный импринтинг (S-FIL/R process)
Описание слайда:
Обращенный импринтинг (S-FIL/R process)

Слайд 62


Преимущества импринтинга
Описание слайда:
Преимущества импринтинга

Слайд 63


Импринтинг по планаризированному рельефу
Описание слайда:
Импринтинг по планаризированному рельефу

Слайд 64


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №64
Описание слайда:

Слайд 65


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №65
Описание слайда:

Слайд 66


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №66
Описание слайда:

Слайд 67


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №67
Описание слайда:

Слайд 68


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №68
Описание слайда:

Слайд 69


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №69
Описание слайда:

Слайд 70


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №70
Описание слайда:

Слайд 71


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №71
Описание слайда:

Слайд 72


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №72
Описание слайда:

Слайд 73


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №73
Описание слайда:

Слайд 74


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №74
Описание слайда:

Слайд 75


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №75
Описание слайда:

Слайд 76


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №76
Описание слайда:

Слайд 77


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №77
Описание слайда:

Слайд 78


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №78
Описание слайда:

Слайд 79


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №79
Описание слайда:

Слайд 80


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №80
Описание слайда:

Слайд 81


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №81
Описание слайда:

Слайд 82


Технические средства наноэлектроники. Нанолитография. (Тема 3.13.2), слайд №82
Описание слайда:

Скачать

Похожие презентации
Mypresentation.ru
Загрузить презентацию