🗊Презентация Технологическая гигиена производства

ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ГИГИЕНА ПРОИЗВОДСТВА Производственная гигиена- комплекс мероприятий, направленных на защиту элементов и деталей приборов от загрязнений.

Виды загрязнения Механические загрязнения (пыль из окружающей среды, волокна, окалина, абразивные частицы, сбитые заусеницы, остатки графитовых смазок и др.). Неорганические соединения, растворимые в воде (соли, остатки растворов после травления, полирования, гальванических покрытий). Органические (жировые и масляные пленки, образующиеся при использовании различных смазок во время механической обработки деталей). Химические соединения (окислы, сульфиды и другие соединения, связанные с поверхностью деталей химическими силами). Газообразные загрязнения (адсорбция молекул и атомов газа на поверхности и абсорбция молекул и атом в других газах).

Неполное удаление загрязнений, таких как пыль, ворса, вызывает: короткие замыкания ; повышает уровень шумов в полупроводниковых и электровакуумных приборах.

Загрязнение кварцевых труб диффузионных печей металлами или элементами 3 и 5 группы приводит к диффузии этих загрязнений в полупроводнике пластины, в результате чего в р-n–переходах увеличивается ток утечки. Загрязнение кварцевых труб диффузионных печей металлами или элементами 3 и 5 группы приводит к диффузии этих загрязнений в полупроводнике пластины, в результате чего в р-n–переходах увеличивается ток утечки.

Чистые/особо чистые помещения

правила вакуумной гигиены необходимо правильно выбрать район расположения предприятия; обеспечить правильное проектирование зданий и сооружений их внутреннюю планировку и отделку (стен, полов и потолков); обеспечить необходимую фильтрацию, кондицирование и термостатирование воздуха, поступающего в помещения; систематически контролировать запыленность атмосферы внутри помещений, особенно на операциях очистки, нанесения покрытий и сборки электронных приборов; организовать технологические процессы без встречных потоков полуфабрикатов и изделий, при наименьшем передвижении работающих; использовать персоналом специальную одежду и обувь и строго соблюдать ими определенные правила; проводить уборку помещений по специально разработанным графикам.

Основные виды загрязнения цехов пыль, пары воды и газы, В зависимости от концентрации и размеров частиц пыли, содержащихся в воздухе, рабочие помещения делятся на пять классов, по микроклимату - на три категории.

Классификация производственных помещений по чистоте воздушной среды

Классификация производственных помещений по микроклимату

В помещениях первого класса может быть только первая или вторая категория микроклимата. В таких помещениях производят: окончательную очистку ; контроль чистоты поверхностей деталей внутренней арматуры приборов, нанесение покрытий на катоды, сборку электровакуумных приборов и их герметизацию.

При производстве полупроводниковых приборов в таких помещениях выполняют вакуумно-термические и термические операции получения электронно-дырочных переходов (диффузии, эпитаксиального наращиванья пленок); операции фотолитографии и изготовления фотошаблонов.

Следует отметить, что стоимость оснащения таких помещений высока. Для экономии в производстве электронных приборов оборудуются специальные рабочие места - скафандры (боксы) и герметизированные линии, состоящие из скафандров, внутри которых создают микроклимат. В последнее время вместо герметичных скафандров с микроклиматом широко используются пылезащитные открытые боксы с вертикальным ламинарным потоком воздуха. Они проще в изготовлении, имеют большой объем и более удобны для размещения различного оборудования и работы сборщиков и операторов. Скорость ламинарного потока составляет 0.2 - 0,5 м/с. При такой скорости воздушного потока в открытом боксе за 1 час меняется примерно 1500 объемов воздуха. В результате очистки 1 литр. воздуха содержит не более трех частиц размером порядка 0.5 мкм.

В особых случаях для создания чистоты I класса пользуются так называемыми чистыми комнатами. отдельные комнаты, расположенные внутри рабочего помещения не ниже 4 класса, со стабилизированным микроклиматом I категории и ограниченным количеством персонала. Наибольшее распространение получили чистые комнаты с вертикальным ламинарным потоком. Скорость потока воздуха в них составляет 0.25 - 0,5 м/с, что соответствует 400 - 500 обменам воздуха в час. Чтобы внешний воздух не проникал через не плотности дверей и шлюзов в комнату, в ней создается избыточное давление около 10 - 20 Па.

Чистые комнаты соединяются с другими помещениями с помощью тамбуров. Детали и сборочные единицы из помещений передаются через специальные шлюзы, встроенные в стены Отделку стен и потолка таких комнат производят пылеотталкивающими материалами. Коммуникации делают скрытыми, выступы на стенах не допускаются. Полы покрываются специальными синтетическими материалами, столы облицовываются пластмассой, нержавеющей сталью. Чистые комнаты соединяются с другими помещениями с помощью тамбуров. Детали и сборочные единицы из помещений передаются через специальные шлюзы, встроенные в стены Отделку стен и потолка таких комнат производят пылеотталкивающими материалами. Коммуникации делают скрытыми, выступы на стенах не допускаются. Полы покрываются специальными синтетическими материалами, столы облицовываются пластмассой, нержавеющей сталью.

Автоматические линии очистки поверхности и металлизации

Монтаж компонентов на печатную плату

Установка автоматического сверления

Технологическая одежда и поведение персонала в чистых помещениях

Все лица, особенно обслуживающий персонал и наладчики оборудования должны соблюдать правила производственной гигиены. Чтобы с одеждой персонала в чистые помещения не заносилась пыль, спецодежду шьют из без ворсовых тканей. Хранят спецодежду, а также личную одежду, в индивидуальных шкафах, установленных в специально отведенном месте.

Установлены следующие комплекты одежды: белые или цветные светлых тонов халаты из хлопчатобумажной ткани, хромовые, на кожаной подошве тапочки; хлопчатобумажная шапочка или косынка. Непосредственно перед работой и во время работы запрещается пользоваться косметическими средствами.

Чтобы исключить попадание жировых загрязнений на изделия и детали, работники должны пользоваться резиновыми напальчниками, перчатками и пинцетами.

Наиболее тщательное соблюдение технологической дисциплины должно быть в чистых комнатах. Так как наибольшее загрязнение в чистых комнатах вносятся деятельностью людей.

Методы контроля технологической гигиены В чистых технологических помещениях контролируются следующие параметры: температура, влажность, запыленность и аэродинамические параметры.

Периодический контроль Для контроля запыленности наиболее широко применяются: седиментационный, электрический; оптический методы.

Для систематического контроля запыленности воздух применяется прибор типа АЗ-2М. Принцип работы прибора основан на том, что луч света пересекает струю воздуха в поле зрения микроскопа, который через объективы соединен с фотоэлектронным умножителем (ФЭУ). Пылинки дают затемнение, которое регистрируется ФЭУ и после усиления подается на контрольно-измерительный вольтметр.

Для контроля содержания паров масла используют свеже расщепленную слюду. Время образования монослоя масляной пленки указывает на недопустимое содержание паров масла в воздухе, масляная пленка обнаруживается, если слюда не смачивается водой.