Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6) - презентация, доклад, проект скачать

Нажмите для полного просмотра!

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №1

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №2

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №3

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №4

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №5

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №6

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №7

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №8

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №9

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №10

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №11

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №12

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №13

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №14

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №15

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №16

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №17

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №18

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №19

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №20

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №21

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №22

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №23

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №24

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №25

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №26

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №27

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №28

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №29

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №30

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №31

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №32

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №33

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №34

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №35

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №36

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №37

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №38

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №39

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №40

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №41

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №42

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №43

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №44

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №45

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №46

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №47

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №48

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №49

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №50

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №51

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №52

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №53

Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6), слайд №54

Содержание ▲

Вы можете ознакомиться и скачать презентацию на тему Формирование подзатворного диэлектрика. (Лекция 6). Доклад-сообщение содержит 54 слайдов. Презентации для любого класса можно скачать бесплатно. Если материал и наш сайт презентаций Mypresentation Вам понравились – поделитесь им с друзьями с помощью социальных кнопок и добавьте в закладки в своем браузере.

Слайды и текст этой презентации

Слайд 1

Описание слайда:

Лекция 6 Формирование подзатворного диэлектрика

Слайд 2

Описание слайда:

Нереализованный «полевой транзистор» Лилиенфельда.

Слайд 3

Описание слайда:

Принцип работы полевого транзистора

Слайд 4

Описание слайда:

Почему не работал МДП-транзистор Управляющий электрод Полупроводник Соотношение между поверхностными ловушками (оборванные связи) и количеством индуцированных полем носителей На один носитель - 100 ловушек!

Слайд 5

Описание слайда:

Разработчики метода пассивации поверхности кремния оксидом

Слайд 6

Описание слайда:

Почему стал работать МОП-транзистор Эффект пассивации поверхности оксидом (1960-е гг. М. Аталла и Д. Кант ) Управляющий электрод Оксид кремния Кремний Соотношение между поверхностными ловушками (оборванные связи) и количеством индуцированных полем носителей На одну ловушку - 10 носителей!

Слайд 7

Описание слайда:

Слайд 8

Описание слайда:

Почему неполная пассивация поверхности кремния

Слайд 9

Описание слайда:

Пороговое напряжение МОП-транзистора Выравнивание зон Обеднение Инверсия = + + 2

Слайд 10

Описание слайда:

Динамика изменения толщины подзатворного окисла

Слайд 11

Описание слайда:

Проблемы подзатворного диэлектрика

Слайд 12

Описание слайда:

Структура оксида кремния

Слайд 13

Описание слайда:

Ближний порядок O O O Si O Si O O O

Слайд 14

Описание слайда:

Структура оксида кремния

Слайд 15

Описание слайда:

Кристаллические модификации оксида кремния P кварц тридимит кристаболит

Слайд 16

Описание слайда:

Почему растёт аморфный оксид кремния

Слайд 17

Описание слайда:

Дефекты аморфного оксида кремния Отсутствие кремния Отсутствие кислорода ( кислородная вакансия.) Решеткообразующие примеси – замена кремния ( бор, фосфор, сурьма, мышьяк) Решеткопреобразующие примеси – замена кислорода ( водород, гидроксил, натрий, калий, алюминий ) 5. Кремний в междоузлии 6. Примеси ( ранее перечисленные) в междоузлии

Слайд 18

Описание слайда:

Последствия локальной кристаллизации аморфного оксида кремния 1. Разрушение решетки оксида 2. Ухудшение маскирующих свойств оксида 3. Токи утечки через оксид 4. Увеличенная скорость диффузии через оксид 5. Ухудшение эффекта пассивации поверхности кремния 6. Возникновение внутренних механических локальных напряжений 7. Повреждение металлизации 8. Изменение зарядового состояния системы кремний-оксид 9. Уменьшение подвижности носителей в канале МОПТ

Слайд 19

Описание слайда:

Факторы способствующие локальной кристаллизации аморфного оксида кремния Длительные высокотемпературные обработки Медленное охлаждение Трёхвалентные решоткообразующие примеси ( бор ) Решоткопреобразующие примеси (водород, гидроксил, натрий, алюминий ) Частицы кварцевой пыли Металлические примеси в междоузлии

Слайд 20

Описание слайда:

Факторы подавляющие локальную кристаллизацию аморфного оксида кремния Уменьшение температуры и длительности термообработок. Быстрое охлаждение Пятивалентные решоткообразующие примеси ( фосфор, сурьма, мышьяк ) Окисление в сухом кислороде Стерильность процесса окисления

Слайд 21

Описание слайда:

Структура системы кремний-оксид Оксид Кремний кремния монокристалл аморфный Кристаллизованный Аморфизированный оксид кремний

Слайд 22

Описание слайда:

Зарядовое состояние системы кремний-оксид

Слайд 23

Описание слайда:

Пороговое напряжение МОП-транзистора Выравнивание зон Обеднение Инверсия = + + 2

Слайд 24

Описание слайда:

Зависимость подвижности носителей от температуры и электрического поля

Слайд 25

Описание слайда:

Зарядовое состояние системы кремний-оксид Слон и семеро слепцов Р.Донована

Слайд 26

Описание слайда:

Заряды в системе кремний-оксид кремния

Слайд 27

Описание слайда:

Постоянный заряд Расположен в оксиде вблизи поверхности кремния (20 А0) Всегда положительный Не зависит от типа проводимости и концентрации примеси в кремнии Больший при ориентации поверхности кремния (111) Не меняется под воздействием внешних электрических полей Уменьшается при увеличении температуры окисления Увеличивается при окислении в парах воды Уменьшается при термообработке в азоте или аргоне при 400 0С

Слайд 28

Описание слайда:

Образование кислородных вакансий

Слайд 29

Описание слайда:

Постоянный заряд O + O Si O Si O O O

Слайд 30

Описание слайда:

Почему кислородная вакансия донор

Слайд 31

Описание слайда:

Треугольник Дилла

Слайд 32

Описание слайда:

Поверхностные состояния в системе кремний-оксид

Слайд 33

Описание слайда:

Поверхностные состояния Расположены на поверхности кремния Больше при ориентации поверхности кремния (111) Уменьшаются при окислении в парах воды Уменьшаются при обработке хлором Величина и знак заряда зависит от внешнего потенциала Имеются быстрые и медленные состояния Увеличивается при избыточной концентрации водорода

Слайд 34

Описание слайда:

Свободные связи в объеме окисла кремния

Слайд 35

Описание слайда:

Эффект образования горячих носителей

Слайд 36

Описание слайда:

Влияние водорода в окисле на плотность поверхностных состояний и захват горячих носителей

Слайд 37

Описание слайда:

Мигрирующий заряд Расположен в объеме оксида Чаще положительный (Na+, K+, H+ ) Уменьшается при введении в оксид фосфора Увеличивается при нанесении на оксид алюминия и последующей низкотемпераnурной обработке Увеличивается при окислении в парах воды Уменьшается при термообработке в сухом кислороде